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單晶爐長晶原理是什么

[2014/4/10]

     在單晶爐中可以進行一些操作,如果把高純度的多晶硅原料放在高純度的石英坩堝中,通過加熱器的作用,就會產生高溫,這樣就會把它熔化。如果對熔化的硅液進行降溫處理,就會產生一定程度的過冷度,然后再使用一個硅單晶體插在熔體的表面,需要使用固定在籽晶軸上的硅單晶體??梢缘冗@籽晶可以和熔體相融合之后,然后慢慢的往上拉動籽晶。然后晶體就會在慢慢的生長,可以生長成為直徑3至5毫米的細頸。

 

    這個細頸可以消除高溫溶液產生的強烈的沖擊作用,這樣就會形成一個錯位,這個過程就是引晶。然后可以把晶體的直徑放大,將其放大到工藝所要求的大小就可以,一般來說,這個長度是75至300毫米,專業術語則可以把它稱為放肩。如果突然將拉速提高的話,使肩部形成一個直角。然后單晶爐就會進入等徑工藝,通過對熱場溫度和晶體來提升下速度,這樣就會生成一定大小的單晶柱體。
    如果很多硅溶液已經完成了結晶,就可以把晶體慢慢的縮小,直到縮小為一個尾形的椎體就可以了,一般這個尾形椎體也被稱為收尾工藝。這樣就可以把單晶的拉制過程完成操作,然后再經過一定的保溫冷卻就可以將其取出來了。
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